【摘 要】
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A compact optical switch matrix was designed, in which light circuits were folded by total inteal reflective (TIR) mirrors. Two key elements, 2 × 2 switch and
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of
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A compact optical switch matrix was designed, in which light circuits were folded by total inteal reflective (TIR) mirrors. Two key elements, 2 × 2 switch and TIR mirror, have been fabricated on silicon-on-insulator wafer by anisotropy chemical etching. The 2 × 2 switch showed very low power consumption of 140mW and avery high speed of 8 ± 1 μs. An improved design for the TIR mirror was developed, and the fabricated mirror with smooth and vertical reflective facet showed low excess loss of 0.7 ± 0.3 dB at 1.55μm.
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