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大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究
来源 :长春工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:b1035846306
【摘 要】
:
以内径1.1rn的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至
【作 者】
:
张方程
于海利
周敬萱
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
:
长春工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2013年2期
【关键词】
:
镀膜机
中阶梯光栅
膜层均匀性
coating machine echelle grating film uniformity.
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以内径1.1rn的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。
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