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介绍了碳热还原法合成SiC的反应机理，综述了影响碳热还原法合成SiC的工艺因素，分析并比较了反应温度、碳源及配C量、原料组成和粒度、Ar流量和CO分压以及添加剂等因素对反应速率、产率及相组成的影响。
工艺因素对碳热还原法合成SiC的影响
【摘 要】
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介绍了碳热还原法合成SiC的反应机理，综述了影响碳热还原法合成SiC的工艺因素，分析并比较了反应温度、碳源及配C量、原料组成和粒度、Ar流量和CO分压以及添加剂等因素对反应速
【机 构】
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东北大学材料与冶金学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2005年F05期
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