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采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备掺铟氧化锌薄膜，研究不同退火温度对薄膜结构及发光性能的影响．结果表明，掺铟氧化锌薄膜仍为六角纤锌矿结构的ZnO相，在大于450nm的波段薄膜样品的透射率都较高；随着退火温度的升高，透射率先增后减，600℃时达到最大；薄膜样品的光学带隙都小于纯ZnO的理论值（3．37eV），且随退火温度的升高呈先减后增趋势；样品的结晶度与发光强度随着退火温度的升高而增强．