【摘 要】
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利用电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN和(TiTa)N薄膜.采用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了系统分析.研究结果显示:随着阴极弧电流的增
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利用电弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN和(TiTa)N薄膜.采用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了系统分析.研究结果显示:随着阴极弧电流的增加,沉积温度线性上升,薄膜由(111)织构向无择优取向转化;阴极弧电流对TiN薄膜的显微硬度影响较大,而对(TiTa)N薄膜的显微硬度无显著影响.此外,讨论了阴极弧电流对TiN和(TiTa)N薄膜的微观组织和性能的影响机制.
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