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在O2等离子体物理化学模型的基础上，对不同初始温度下O2等离子体中的主要粒子的形成过程进行了数值模拟，跟踪各种主要成分粒子浓度随时间的变化，得到了初始温度对等离子体主要带电粒子和中性粒子浓度的影响规律。计算结果表明：随着初始温度的升高，O2等离子体中各种主要成分粒子浓度的变化规律相似，粒子浓度变化趋势受初始温度影响不明显。e、O、O2、O＋随时间增长浓度变化比较大，O-、O2-、O2＋、O＋、O2＋等随时间增长浓度变化相对较小，但最终都达到一定的平衡状态。