硅分子束外延中硼δ掺杂生长研究

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【摘要】

：

利用硅分子束外延技术和Ｂ２Ｏ３掺杂源，成功地实现了硅中的硼δ掺杂，硼δ掺杂面密度ＮＢ可达３．４×１０＾１４ｃｍ＾－２（１／２单层）以上，透射电镜所示宽度为１．５ｎｍ。我们首次用原位俄歇电子能谱（ＡＥＳ）对硼在Ｓｉ（１００）表面上的δ掺杂行为进行

【作者】

：

陈祥君杨宇龚大卫陆昉王建宝樊永良盛篪孙恒慧

【机构】

：

复旦大学应用表面物理国家重点实验室复旦大学李政道物理综合实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1995年11期

【关键词】

：

硅分子束外延硼掺杂外延生长 BoronDoping (additives)Epitaxial growthMolecular beam epitaxyT

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利用硅分子束外延技术和Ｂ２Ｏ３掺杂源，成功地实现了硅中的硼δ掺杂，硼δ掺杂面密度ＮＢ可达３．４×１０＾１４ｃｍ＾－２（１／２单层）以上，透射电镜所示宽度为１．５ｎｍ。我们首次用原位俄歇电子能谱（ＡＥＳ）对硼在Ｓｉ（１００）表面上的δ掺杂行为进行了初步的研究，发现在ＮＢ〈３．４×１０＾１４ｃｍ＾－２时，硼δ掺杂面密度与时间成正比，衬底温度６５０℃，掺杂源温度９００℃时，粘附速率为４．４×１０＾１３ｃ

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