【摘 要】
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提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法，该方法采用傅里叶变换、带通滤波器和傅里叶逆变换估得初始相位，然后通过图像分割、相位符号校正和Zernike多项式拟合得到高准确度相位分
【基金项目】
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国家自然科学青年基金项目（No.61205163）和浙江师范大学创新团队项目资助
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提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法，该方法采用傅里叶变换、带通滤波器和傅里叶逆变换估得初始相位，然后通过图像分割、相位符号校正和Zernike多项式拟合得到高准确度相位分布．用图像分割和相位符号校正解决了相位符号不确定性，用Zernike多项式拟合抑制了分割线附近的局部相位误差．数值分析了残余相位误差与干涉图参量（如倾斜量、离家量和随机噪音）之间的定性关系，结果表明：该方法所得相位与ZYGO移相干涉仪测试结果吻合较好，残余相位误差小于参考值的1／10，验证了该方法的有效性．
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