【摘 要】
：
应用AFM组建三维刻划加工系统，光杠杆系统是实现刻划深度控制的重要环节．通过分析微悬臂挠度、转角对光杠杆系统的影响，及不同刻划方向针尖扭转角对刻划深度的影响，得出以下结论：
【机 构】
：
哈尔滨工业大学精密工程研究所,中国科学院工程热物理研究所
论文部分内容阅读
应用AFM组建三维刻划加工系统，光杠杆系统是实现刻划深度控制的重要环节．通过分析微悬臂挠度、转角对光杠杆系统的影响，及不同刻划方向针尖扭转角对刻划深度的影响，得出以下结论：由非刚性微悬臂组成的光杠杆系统，与理想光杠杆系统存在3：2的线性检测变换关系，可采用单点标定方法对光杠杆系统进行标定；沿相对于微悬臂长轴进行横向刻划时针尖扭转角所产生的刻划深度误差，远小于沿纵向刻划所产生的刻划深度误差．
其他文献
在近年来的便利店发展热潮中,特许经营已不是一个新名词,众多参与便利店市场角逐的企业,在各自的便利店拓展计划中,都不约而同地选择了特许经营作为便利店发展的主要方式。一
越来越多的证据发现C反应蛋白(CRP)、纤溶酶原激活物抑制剂(PAI)-1、白细胞介素(IL)-6、肿瘤坏死因子(TNF)-a等在T2DM人中明显增高;治疗后降低;代谢的人群中IL-6水平是明显升
转化性征收是我国一种独特的土地征收制度,是土地从身份性集体土地使用权向非身份性的国有土地使用权转化的重要途径。我国社会转型期间权利体系的不完备是转化性征收的主要
目的观察外源性3-脱氧葡萄糖醛酮(3-DG)对正常小鼠血糖的影响。方法雄性昆明种小鼠12只,随机分为3-DG组(5mg/kg)和对照组(Con组),各6只。灌胃3-DG第1天、1周、2周后分别采用
刘家河商墓的发现及意义$$1977年8月,北京市平谷县(现在的平谷区)南独乐河乡刘家河村村民在村东一个池塘的南岸取土时发现了一批精美的青铜器。北京市文物管理处和平谷县文教
目前高校毕业生就业状况已成为社会各方关注的焦点。我国高职教育起步较晚,社会认同度一直不如普通高等教育。但从近几年的就业情况来看,高职生就业形势良好,体现了高职培养
自从唐代诗人秦韬玉在其《贫女》诗中吟出“苦恨年年压金线,为他人作嫁衣裳”的名句,“为人作嫁”便被广泛引用,大概由于编辑和贫女“压金线”而“为他人作嫁衣裳”的工作性
创新并非少数天才的专利,一个纪律严明的团队,再加上有效的系统方法,就能更好地实施创新,并取得超越当今全球标准10倍乃至20倍的业绩。德布林咨询公司在研究了近2000个最佳创
《品德与社会》教材中安排有＂民风、民俗知多少＂单元,可依据《品德与社会课程标准（2011年版）》,因地制宜,确定以调查实践活动开展单元教学,把课堂延伸到社会。以下几个步骤值得参