64×64焦平面器件读出电路铟柱列阵工艺设计及实践

来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangbingkai

【摘要】

：

用铟柱进行探测器芯片与读出电路 (ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在 6 4× 6 4ROIC上生长铟柱

【作者】

：

雷胜琼姜军周芳杨彬

【机构】

：

昆明物理研究所; 昆明物理研究所云南昆明650223; 云南昆明650223; 云南昆明650223;

【出处】

：

红外技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

64×64铟柱列阵焦平面铟柱互连

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用铟柱进行探测器芯片与读出电路 (ROIC)之间的电气和机械连接是混合红外焦平面列阵(FPA)最常用的互连方式之一。根据现有的工艺设备和实验条件对在 6 4× 6 4ROIC上生长铟柱进行了优化工艺设计 ,并分析讨论了工艺过程及参数对生长铟柱质量的影响。通过工艺实践验证 ,在 6 4×6 4ROIC上生长的铟柱能够基本满足FPA器件倒焊互连要求

其他文献

灌溉模式与施氮量对水稻需水规律及产量的影响

采用防雨棚池栽试验,研究灌溉模式和施氮量对水稻需水规律、产量及其构成的影响。结果表明：灌溉模式与施氮量对水稻阶段腾发量、需水强度、水分利用效率和产量及其构成有显著

期刊

水稻灌溉模式施氮量产量需水强度水分利用效率

牙刷设计的发展历程和发展趋势

期刊

牙菌斑高露洁

高一数学专题复习月考卷(二)——数列

期刊

专题复习高一数学

实施新版GMP技术性问题答疑500题

<正>150.纯化水使用回路、注射水系统应采用什么方法处理,以降低系统的微生物污染水平?注射用水及纯蒸汽系统往往会出现红锈,企业是否有必要每年象设备初始钝化那样,将系统定

期刊

灭菌柜单向流无菌药品GMP除菌过滤器流通蒸汽灭菌小容量注射剂无菌保证纯蒸汽灭菌纯化水技术性问题

论如何构建高职财务管理专业实践教学体系

实践教学是提高学生职业能力的重要手段,但传统的实践活动影响了学生专业技能的培养。针对当今社会对高职财务管理专业的人才需求和企事业单位财务管理岗位的任职要求,财务管

期刊

高职教育财务管理专业实践教学体系职业能力

列宁《帝国主义论》中的生态思想及其当代价值

《帝国主义论》揭示了帝国主义生产方式对自然界的"无情褫夺"和对发展中国家的"生态殖民"。社会主义生态文明建设是对资本主义生态危机的破解,是人对自然的尊重和人与自然的

期刊

列宁帝国主义生态思想

浅谈加强当代大学生品质修养的重要性

针对目前社会形式加强大学生思想修养的重要性等方面提出一些具体的加强途径和方法改.

期刊

道德道德品质

单波长10Gbps WDM PON系统容量提升关键技术研究

随着新型高宽带需求的各类新型应用不断涌现,无源光网络(PON)近年来得到了广泛应用。WDM PON作为一种大容量、协议透明、兼容性好的光接入技术,是下一代无源光网络(NG-PON)的

学位

WDMPON后向瑞利散射噪声通道重用拍频噪声4-PAM

浅论城市建筑工程的安全施工管理

本文以城市建筑工程施工中的安全问题为研究对象，就目前城市建筑工程安全生产现状及问题进行梳理，结合我国相关建筑行业的法律法规，在进行城市建设工程施工安全重要性分析的基础

期刊

城市建筑工程安全施工管理

灾害性天气条件对农作物的影响分析及应对

在农业的生产发展中,对农作物产量和质量造成影响的关键性因素之一是灾害性天气的发生。灾害性天气不仅影响农业的生产,还可能造成巨大的经济损失,在灾害性天气面前,人们也无

期刊

灾害性天气预防措施防御对策

64×64焦平面器件读出电路铟柱列阵工艺设计及实践

与本文相关的学术论文