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多端口组件网络方法是一种新的系统级统一建模方法，通过该方法形成的多端口三维组建库可以实现MEMS器件的快速设计与仿真。利用该方法，在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信核心子系统的系统级行为模型，并进行了一系列的仿真分析，包括小信号频域仿真、时域仿真、以及灵敏度仿真，其结果接近于有限元分析结果。采用多端口组件网络方法进行MEMS器件的设计可以满足设计要求，保证精度，提高设计效率。