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本文对某型光刻机同轴对准中失败的原因进行了分析,可能由于光强信号和位置信号中过大的噪声引起,并对此种情况进行了MATLAB仿真。通过对光强信号和位置信号进行频谱分析,能够对诊断进行指导。
光刻机中光强和位置信号频谱分析的仿真
【摘 要】
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本文对某型光刻机同轴对准中失败的原因进行了分析,可能由于光强信号和位置信号中过大的噪声引起,并对此种情况进行了MATLAB仿真。通过对光强信号和位置信号进行频谱分析,能
【机 构】
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上海理工大学光电学院
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2010年7期
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