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介绍了激光干涉法长度测量的基本原理,提出在不更换和调整系统中光学器件的条件下,实现线位移和角位移-机测量集成装置的设计思想.该装置结构简单,操作方便,既可直接观察条纹变化情况,又能显示出具体的测量值.
激光干涉法位移测量集成演示装置的设计
【摘 要】
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介绍了激光干涉法长度测量的基本原理,提出在不更换和调整系统中光学器件的条件下,实现线位移和角位移-机测量集成装置的设计思想.该装置结构简单,操作方便,既可直接观察条纹
【机 构】
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四川大学测试技术与控制工程系
【出 处】
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四川大学学报（工程科学版）
【发表日期】
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2004年期
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