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JSR公司近日宣布与IBM公司签署了一项以开发下一代半导体生产材料及生产工艺为目的的基础研究协议。
JSR与IBM签署合作协议共同研发下一代半导体工艺
【摘 要】
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JSR公司近日宣布与IBM公司签署了一项以开发下一代半导体生产材料及生产工艺为目的的基础研究协议。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年1期
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