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通过对半导体封装工艺中芯片拾取过程及影响芯片拾取的关键参数研究,用正交试验法设计并试验,得出了对于特定试验对象最优的参数值组合,找出了对芯片拾取有较大影响的3个参数,可用于今后芯片拾取研究的参考。
IC芯片顶拾工艺影响因素分析
【摘 要】
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通过对半导体封装工艺中芯片拾取过程及影响芯片拾取的关键参数研究,用正交试验法设计并试验,得出了对于特定试验对象最优的参数值组合,找出了对芯片拾取有较大影响的3个参数
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年1期
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