基片偏压对ta—C薄膜结构和摩擦因数的影响

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利用磁过滤阴极电弧技术,通过改变基片负偏压(0—500V)制备四面体非晶碳(ta—c)薄膜,研究基片负偏压对ta—C薄膜结构和摩擦因数的影响。研究表明,基片负偏压对ta—C薄膜的sp3键含量有很大影响,当负偏压为200V时,ta—C薄膜的spj键含量为85%。在0—200V范围内随着基片偏压的增大,表面粗糙度逐渐减小,在负偏压为200V时,薄膜表面粗糙度最小,为0.18nm左右;当负偏压超过200V后,由于薄膜中石墨相增多,薄膜表面粗糙度将增大。随着基片偏压的逐渐增大,由于薄膜表面粗糙度的减小和在摩擦中石
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