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碲镉汞外延用衬底材料的现状和发展
碲镉汞外延用衬底材料的现状和发展
来源 :首届全国先进焦平面技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lawrenceccc
【摘 要】
:
文章综合论述了碲镉汞外延用的衬底材料的现状,着重介绍了几种衬底材料CdTe、Al2O3、GaAs、Ge、Si等的性能特点与各自的优缺点,评述了它们在碲镉汞外延中的使用情况,并对其未
【作 者】
:
周立庆
【机 构】
:
华北光电技术研究所,北京,100015
【出 处】
:
首届全国先进焦平面技术研讨会
【发表日期】
:
2005年8期
【关键词】
:
碲镉汞
外延
衬底材料
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文章综合论述了碲镉汞外延用的衬底材料的现状,着重介绍了几种衬底材料CdTe、Al2O3、GaAs、Ge、Si等的性能特点与各自的优缺点,评述了它们在碲镉汞外延中的使用情况,并对其未来的发展方向做出了预测.
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