AgOx掩膜的制备和性能研究

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【摘要】

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磁控反应溅射制备了AgOx掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了AgOx掩膜的开关性能.结果表明,AgOx掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应AgOx Ag+O2可逆,

【作者】

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张约品阮昊沈德芳干福熹

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

磁控反应溅射 AgOx掩膜聚焦激光热效应开关性能制备光盘 Film preparation Nanostructured materials Sputt

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磁控反应溅射制备了AgOx掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了AgOx掩膜的开关性能.结果表明,AgOx掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应AgOx Ag+O2可逆,适用于LSC-super-RENS光盘.用X-ray和TEM分析了热处理后的AgOx薄膜的成分结构,表明200℃热处理AgOx掩膜存在纳米量级Ag颗粒.

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