物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统与工艺方法

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本文涉及物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统,包括顺序连接的工艺控制系统、高压电子束发生器、高压电子束,以及与工艺控制系统顺序连接的工艺动作控制器、工艺动作执行机构,还包括与高压电子束所作用的涂层靶材,用于在基体工件上生成涂层;所述工艺控制系统连有工件轴控制装置,所述工件轴控制装置与基体工件连接,以便于控制基体工件的旋转.
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