【摘 要】
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<正> 微系统工程将成为21世纪的关键技术,由于微电子学加工方法的不断发展,有可能使电子学功能、光学和机械功能组合为综合的微系统。1.微型装配的必要性微系统工程的一个重
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<正> 微系统工程将成为21世纪的关键技术,由于微电子学加工方法的不断发展,有可能使电子学功能、光学和机械功能组合为综合的微系统。1.微型装配的必要性微系统工程的一个重要特点,在于它是通过各种不同功能的集成,制成专门应用的、型号多变的产品。因此,除个别情况外,其生产一般都限于少量或中等量的件数。为了使产品的成本降低且有市场竞争力,应尽可能由大批量生产的标准元件装配而成。
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