【摘 要】
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InGaAs单光子探测器已广泛应用于激光三维成像、长距离高速数字通讯、自由空间光通信和量子通讯等。针对单元、线列和小面阵器件，已发展出同轴封装、蝶形封装、插针网格阵列封装等多种封装形式。探讨了温度对InGaAs单光子器件性能的影响及组件温控方法，系统比较分析了针对光学元件如微透镜、透镜、光纤等与芯片的高精度耦合方法，针对高频信号输出，总结了引线类型、布线方式、封装结构设计等问题，展望了InGaAs
【基金项目】
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国家自然科学基金（62075229,62175250）； 上海市科技重大项目（2019SZZX01）；
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InGaAs单光子探测器已广泛应用于激光三维成像、长距离高速数字通讯、自由空间光通信和量子通讯等。针对单元、线列和小面阵器件，已发展出同轴封装、蝶形封装、插针网格阵列封装等多种封装形式。探讨了温度对InGaAs单光子器件性能的影响及组件温控方法，系统比较分析了针对光学元件如微透镜、透镜、光纤等与芯片的高精度耦合方法，针对高频信号输出，总结了引线类型、布线方式、封装结构设计等问题，展望了InGaAs单光子探测器的发展趋势。
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