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为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。
双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用
【摘 要】
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为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的
【机 构】
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广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2007年3期
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