论文部分内容阅读
简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2]中的重要性,引入了动态运动规律和数学库的概念,提出了在单机多任务系统上,以事件发生时间推进的机制,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架.并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例,分析了虚拟运行中数学库的组织,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3]、微泵[4]、微加速度计[5]等微电子机械系统的设计和虚拟运行.