【摘 要】
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利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性，设计和制作了变栅距透射光栅，并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序，优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院,中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
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利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性，设计和制作了变栅距透射光栅，并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序，优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光栅扫描电子束光刻的方法制作了中心线数为300 l/mm、适用于355 nm波长的自聚焦变栅距变狭缝光栅。使用三倍频Nd：YAG激光器，研究了制作的变栅距光栅的聚焦特性，并与对氦氖激光的聚焦特性进行了比较。结果表明，主动式设计的变栅距变狭缝自聚焦光栅可以大幅提高衍射光强度和分辨本领，具有重要的应用价值。
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