用于半导体工业的杜邦新Kalrez全氟弹性体部件亮相

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在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上,杜邦高性能弹性体公司(DPE)重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez8900全氟弹性体部件。它实现了在更高温度的半导体制造过程中更长的密封寿命,减少了昂贵的设备停工时间,降低了设备拥有成本。DPE还公布了Kalrez9100部件最近在沉积、蚀刻、灰化/剥离等制程上的成功商业化,并推出了可提高光伏生产密封可靠性的Kalrez产品。
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