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在经典衍射理论中，Si(200)，Si(222)等4n+2面的反射是消光的，但在单晶硅或硅基材料中，常发现Si(200)，Si(222)的衍射．考虑非谐效应和电子云反对称分布的贡献，分别计算了Si(200)，Si(222)消光衍射的相对强度，并用XRD测试手段进行了验证．结果表明，理论与实验值基本符合．在室温下，Si(200)，Si(222)衍射主要是因为反对称的电子云分布所致．同时，强调了Si(200)，Si(222)衍射在XRD分析中的应用．