【摘 要】
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A solution is developed to improve the irradiation reliability of SOI NMOSFET(N-type Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor).This solution,including
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A solution is developed to improve the irradiation reliability of SOI NMOSFET(N-type Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor).This solution,including SOI(Silicon On Insulator)wafer hardening and transistor structure hardening,protects the SOI circuit from total dose irradiation effect.
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