惰性气体离子辅助产生Ca^＋、He^＋及其注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析

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【摘要】

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介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析.Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量

【作者】

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郑思孝罗顺忠廖小东龙兴贵彭述明王培禄刘仲阳刘宁

【机构】

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四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,中国工程物理研究院核物理与化学研究所

【出处】

：

核技术

【发表日期】

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2003年5期

【关键词】

：

CA^+ He^+离子注入纳米钛膜微观结构 Ca+ He+ ions implantation Nano-titanium film Microstr

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介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析.Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结合的方式与钛基体连接;He+注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15-40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐公式计算出的纳米膜样品在(100)(101)晶面晶粒粒度大小分别为20.2nm和19.3nm,表明纳米钛膜注氦后仍保持纳米尺

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