【摘 要】
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根据等离子炬焰熔法单晶生长结构特征,利用Fluent软件分析了等离子温度、燃气速度、外冷气速度、炉体结构对温度场的影响.结果表明,随着等离子体温度升高,轴向和纵向温度梯度增加,生长室温度整体升高;随着燃气速度的增加,生长界面处轴向和径向温度升高,但热源处径向温度下降;随着外冷气的增加,壁面温度降低;增加到一定数值后,作用减弱.当等离子炬反应器与生长炉的连接处改成带倒角的过渡形式时,生长界面处径向整体温度上升,且在热源温度为6000 K,燃气速度为0.2 m/s,外冷气速度为0.05 m/s的边界条件下,能
【机 构】
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沈阳工程学院能源与动力学院,辽宁 沈阳 110136;沈阳工程学院新能源学院,辽宁 沈阳 110136
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根据等离子炬焰熔法单晶生长结构特征,利用Fluent软件分析了等离子温度、燃气速度、外冷气速度、炉体结构对温度场的影响.结果表明,随着等离子体温度升高,轴向和纵向温度梯度增加,生长室温度整体升高;随着燃气速度的增加,生长界面处轴向和径向温度升高,但热源处径向温度下降;随着外冷气的增加,壁面温度降低;增加到一定数值后,作用减弱.当等离子炬反应器与生长炉的连接处改成带倒角的过渡形式时,生长界面处径向整体温度上升,且在热源温度为6000 K,燃气速度为0.2 m/s,外冷气速度为0.05 m/s的边界条件下,能生长直径约为10.54 mm的金红石单晶体.
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