纳米压痕方法测量超薄钛薄膜弹性模量的研究

来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xp509

【摘要】

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【作者】

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赵波慧刘燕萍张跃飞吕俊霞

【出处】

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热加工工艺

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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纳米压痕超薄钛薄膜弹性模量力学性能

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(11374027);北京市自然科学基金资助项目(2152007)

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