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本文采用磁控溅射法制备了用于电致变色器件的WO3薄膜，用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE.SEM)、紫外.可见分光光度计(UV.Vis)对其物相组成、微观形貌以及电致变色性能进行了表征。结果表明：在溅射压强为2Pa、氩氧比为60：20时所制备的WO3薄膜厚度适中，且有利于离子的嵌入/脱出，而以此薄膜制备的电致变色器件光调制范围最大，褪色时间最短，着色效率达82.9cm2/C。