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采用溶胶-凝胶工艺,制备了LiCl/SiO2多孔薄膜湿敏材料. 薄膜采用提拉法在氧化铝基片上制成. 用SEM技术对薄膜的孔结构和表面形貌进行了观察,用XRD技术研究了热处理温度对LiCl/SiO2凝胶结晶行为的影响. 研究了LiCl/SiO2薄膜的湿敏特性.
LiCl/SiO2薄膜的制备及湿敏性能
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺,制备了LiCl/SiO2多孔薄膜湿敏材料. 薄膜采用提拉法在氧化铝基片上制成. 用SEM技术对薄膜的孔结构和表面形貌进行了观察,用XRD技术研究了热处理温度对LiCl
【机 构】
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西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
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硅酸盐学报
【发表日期】
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2004年期
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