【摘 要】
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本文研究一种基于迈克尔逊干涉原理对玻璃厚度进行测量的方法。测量装置采用1550nm宽带光作为探测光源,样品前后表面反射回来的微弱探测光与直线电机反射回来的参考光结合,产
【机 构】
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佛山科学技术学院物理与光电工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（11474053）,2016年度广东大学生科技创新培育专项资金（pdjh2016b0530）.
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本文研究一种基于迈克尔逊干涉原理对玻璃厚度进行测量的方法。测量装置采用1550nm宽带光作为探测光源,样品前后表面反射回来的微弱探测光与直线电机反射回来的参考光结合,产生干涉信号,利用光外差探测的方法进行光电转换。电信号预处理之后输到计算机,对测量数据进行进一步计算,得出玻璃厚度参数。本仪器测量精度高,速度快,成本低,是镜片厚度非接触测量很好的实现方案。
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