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TN20 97031950研究新工艺新技术开发新一代光电子器件=Advancedtechnology research on new kinds of optoelectronicsdevices[刊,中]/葛璜,胡雄伟,王圩(国家光电子工艺中心,中科院半导体研究所.北京(100083))//光子学报.—1996,25(Z1).-41-50介绍国家光电子工艺中心的建设宗旨及设备构成,新工艺、新技术及新一代光电子器件研究现状,中心与国内同行合作研究的各种形式。图2表1参27(严兰)