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温度对集成芯片的生产有着重要影响,如何有效提升温度控制精度是业内共同关注的话题。基于此,本文将围绕着基于FPGA的氧化扩散炉温度控制系统展开研究,论述一种新型温度控制系统设计方案,希望能够提供一定的参考,促进集成电路行业稳定发展。
基于FPGA的氧化扩散炉温度控制系统研究
【摘 要】
：
温度对集成芯片的生产有着重要影响,如何有效提升温度控制精度是业内共同关注的话题。基于此,本文将围绕着基于FPGA的氧化扩散炉温度控制系统展开研究,论述一种新型温度控制
【机 构】
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上海华力微电子有限公司
【出 处】
：
科学与信息化
【发表日期】
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2021年4期
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