【摘 要】
：
最近宣布的光刻设备就速度、分辨率、对准、光源甚至价格方面都非常接近。ＳＶＧＬ、ＮＩＫＯＮ、ＡＳＭＬ和ＣＡＮＯＮ公司之间设备的主要差别在于ＳＶＧＬ采用了一种带反射折射透镜的光学系统 ,而其它公司则采用折射透镜
论文部分内容阅读
最近宣布的光刻设备就速度、分辨率、对准、光源甚至价格方面都非常接近。ＳＶＧＬ、ＮＩＫＯＮ、ＡＳＭＬ和ＣＡＮＯＮ公司之间设备的主要差别在于ＳＶＧＬ采用了一种带反射折射透镜的光学系统 ,而其它公司则采用折射透镜。问题在于折射透镜是否能够用于 1 5 7ｎｍ远紫外设备?
Recently announced lithography equipment is very close in terms of speed, resolution, alignment, light source and even price. The main difference between SVGL, NIKON, ASML and CANON devices is that SVGL uses an optical system with a catadioptric lens, while others use a refractive lens. The question is whether the refractive lens can be used for 157nm far UV equipment?
其他文献
从1980年恢复保险业务以来，保险业发生了巨大的变化，呈现快速发展的态势。汽车保险作为保险的细分行业，伴随着汽车市场规模的不断扩大，车险费率市场化的不断推进，呈现快速发展态势
华表留形:典出陶潜《搜神后记》卷一:“丁令威,本辽东人,学道于灵虚山,后化鹤归辽,集城门华表柱时有少年,举弓欲射之,鹤乃飞,徘徊空中而言曰:”有鸟有鸟丁令威,去家千年今始
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
大宗商品国际贸易融资主要通过研究以大宗商品为载体的国际贸易融资业务，运用传统贸易融资与综合性的结构性贸易融资相结合，设计，探讨符合我国基本国情并具有操作可行性的国际贸
随着通信技术的不断发展和市场竞争的加剧,电信运营商进入了一个竞争更为激烈的时代,对于运营商,网络服务的好坏,会直接影响到用户对服务的感知和评价。为了提升客户满意度,
2008年,中共安庆长江大桥经济开发区委员会(以下简称党工委)按照“组织共建、设施共享、党员共管、活动共抓”的要求,发挥党建平台的重要作用,有效保证了党的工作向入驻企业
1 概 论 广播电视系统采用有条件接收技术已经有二十多年的历史,从模拟信号传输到当前全数字信号传输中绝大多数有条件接收系统都是采用机密密钥算法,也称为对称密钥加密法(
20世纪90年代，我国文化创意产业开始出现，并在我国快速发展。在全球经济一体化的大环境下，以及我国改革开放的政策指导下，我国文化创意企业开始在世界舞台上出现，积极争取自己的一