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介绍了目前可用于A1GaN半导体异质外延膜中Al组分含量测定的多种测试技术，包括高分辨x射线衍射技术、光致发光法、紫外一可见光透射光谱法、电子探针法、卢瑟福背散射法等，并对各种测试技术的原理和优缺点进行了概述。
GaN基异质外延膜中Al组分含量测试方法综述
【摘 要】
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介绍了目前可用于A1GaN半导体异质外延膜中Al组分含量测定的多种测试技术，包括高分辨x射线衍射技术、光致发光法、紫外一可见光透射光谱法、电子探针法、卢瑟福背散射法等，并对
【机 构】
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中国兵器工业集团第五三研究所
【出 处】
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化学分析计量
【发表日期】
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2010年4期
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