【摘 要】
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电阻率为15-20 Ωcm n型单晶硅在氢氟酸-乙醇溶液中通过光电化学阳极氧化刻蚀后,再经过光氧化处理得到稳定化的多孔硅(porous silicon,PS).在PS结构基础上通过真空蒸镀金属铝
【机 构】
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山东师范大学化学化工与材料科学学院,250014,济南
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电阻率为15-20 Ωcm n型单晶硅在氢氟酸-乙醇溶液中通过光电化学阳极氧化刻蚀后,再经过光氧化处理得到稳定化的多孔硅(porous silicon,PS).在PS结构基础上通过真空蒸镀金属铝(Al)层形成Al/PS/Si/Al纵向结构和Ps两端镀铝的Al-Ps-Al横向结构.利用多孔硅高比表面积对不同浓度尿素进行吸附后,得到Al/Ps-urea/si/Al or Al-PS-urea-Al结构.研究了上述两种结构的电流电压的半对数关系,结果表明lg I～V,曲线与被吸附尿素的含量呈递减关系,浸泡PS的尿素溶液浓度在1μg·ml-1～1 mg·ml-1范围内呈线性递减关系.基于这两种结构的多孔硅器件有望实现对尿素的传感.
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