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通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。
梁式硅微机械陀螺结构的研究
【摘 要】
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通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。
【机 构】
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哈尔滨工业大学分析测试中心!
【出 处】
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遥测遥控
【发表日期】
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2001年1期
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