【摘 要】
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为实现砷化镓声电输运,必须在外延层中建立电子输运沟道.本文对金属-n型外延层-半绝缘衬底结构的输运沟道给出耗尽分析的解析表达式,分析了外延层厚度、掺杂浓度、偏置电压等
【机 构】
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浙江大学,浙江大学,浙江大学 杭州310008,杭州310008,杭州310008
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为实现砷化镓声电输运,必须在外延层中建立电子输运沟道.本文对金属-n型外延层-半绝缘衬底结构的输运沟道给出耗尽分析的解析表达式,分析了外延层厚度、掺杂浓度、偏置电压等参数对输运沟道耗尽特性的影响,以及器件表面存在氧化层时对器件工作特性的影响.
In order to realize the gallium arsenide acoustoelectric transport, the electron transport channel must be established in the epitaxial layer.In this paper, the analytical expression of depletion analysis is given for the transport channel of metal-n type epitaxial layer-semi-insulating substrate structure The effects of parameters such as epitaxial layer thickness, doping concentration and bias voltage on the depletion characteristics of the channel are analyzed, and the influence of the oxide layer on the device operating characteristics is analyzed.
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