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以氯氧化锆和氨水为原料，在醇水溶液中制得氧化锆前驱体，经过陈化和低温处理后干燥，前驱体在600℃下煅烧后球磨得到氧化锆超细粉末。采用TG—DSC，XRD，TEM分别对制备的粉末进行了分析。研究表明在共沉淀过程中引入无水乙醇，采用低温处理工艺，能减少粉末的团聚，避免硬团聚的形成。运用该方法可以制备出粒度为20～30nm、少团聚的超细氧化锆粉末。