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厚膜永磁阵列是近年来MEMS器件中的重要材料之一,研究其表面磁场分布对实际应用中永磁阵列单元几何尺寸的设计具有重要指导作用.文中建立了厚膜永磁阵列表面磁场分布的计算模型,并得到了永磁阵列表面磁场分布.结果表明永磁阵列表面磁场呈周期性分布,与磁体单元高度、宽度以及磁体单元间隔密切相关.
厚膜永磁阵列表面磁场分布研究
【摘 要】
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厚膜永磁阵列是近年来MEMS器件中的重要材料之一,研究其表面磁场分布对实际应用中永磁阵列单元几何尺寸的设计具有重要指导作用.文中建立了厚膜永磁阵列表面磁场分布的计算模
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2005年1期
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