【摘 要】
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SAW器件的应用日益广泛,它的可靠性问题也随之而引起重视.本文分析了电场、温度、材料及工艺等对器件可靠性的影响,对三种重要的失效机理即AI膜的腐蚀、迁移和LiNbO_3压电晶
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SAW器件的应用日益广泛,它的可靠性问题也随之而引起重视.本文分析了电场、温度、材料及工艺等对器件可靠性的影响,对三种重要的失效机理即AI膜的腐蚀、迁移和LiNbO_3压电晶片的微裂进行了讨论并介绍了SAW器件生产中的质量管理、可靠性试验和失效分析等.本文着重指出:要生产高可靠性的SAW器件,必须妥善处理材料、工艺中的一系列问题.
The application of SAW device is becoming more and more widespread, and its reliability problems are also paid more attention.This paper analyzes the influence of electric field, temperature, material and process on the reliability of the device, the corrosion of three important failure mechanisms, namely AI film, Migration and micro-cracking of LiNbO_3 piezoelectric wafers were discussed and the quality management, reliability test and failure analysis of SAW devices were introduced.In this paper, it is pointed out that in order to produce SAW devices with high reliability, materials, processes In a series of questions.
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