磁悬浮微进给机构电磁场研究

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【摘要】

：

针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而设计了磁悬浮微进给机构,并对它进行了电磁场耦合分析及解耦控制,准确综合地研究磁悬浮系统.在不计漏磁的简单磁路、磁力计算基础上,

【作者】

：

杨秀华王延风卢志山

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

：

电光与控制

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

CAD/CAE 磁悬浮直线电机光刻机有限元法 CAD/CAE magnetic levitation linear motor optical engra

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针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而设计了磁悬浮微进给机构,并对它进行了电磁场耦合分析及解耦控制,准确综合地研究磁悬浮系统.在不计漏磁的简单磁路、磁力计算基础上,采用有限元分析软件ANSYS对电磁场进行有限元分析,得到考虑漏磁的磁场分布及准确的磁力计算结果,从而确定电流及气隙大小等悬浮控制参数,为控制设计与试验提供了参考.

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