【摘 要】
：
目前有源平板显示领域主要采用PECVD法制备TFT用硅薄膜，但是由于PECVD中等离子对Si薄膜的损伤以及淀积薄膜的温度很高的缺点，使其在制备高迁移率TFT的应用中受到了限制。新出现
【机 构】
：
吉林大学电子科学与工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所北方液晶工程研究开发中心,清溢精密光电（深圳）有限公司
论文部分内容阅读
目前有源平板显示领域主要采用PECVD法制备TFT用硅薄膜，但是由于PECVD中等离子对Si薄膜的损伤以及淀积薄膜的温度很高的缺点，使其在制备高迁移率TFT的应用中受到了限制。新出现的催化化学气相淀积法（Cat-CVD）与PECVD法相比，具有淀积速率高、原料气体利用效率高、衬底温度低、生长的薄膜致密、电学特性好等优点，将更有希望成为TFT用硅薄膜制备的新技术。文章对Cat—CVD法的工作机理及其在TFT中的应用进展进行了详细总结，归纳了各种催化丝材料，并对当前Cat—CVD技术研究中的不足及其以后的研究
其他文献
初中语文教学是传播小说文化的重要渠道,但是当前初中生对于小学教学缺乏学习兴趣,无法理解小说基本内容,初中生缺乏阅读鉴赏能力,没有接受小说教学的熏陶。这是因为初中语文
港口作为全球综合运输网络的节点,其功能更加多元化,服务也更加广泛,已成为商品流、资金流、技术流、信息流与人才流汇聚的中心,这对供应链中港口的定位提出了更高的要求。同时,港口的成长也是多指标因素整体性作用的结果。如何充分发挥各方面优势,最大程度挖掘各港口的发展潜力,对港口的发展和定位起到至关重要的作用。本研究在综合评价沿海港口发展潜力的基础上,提出基于综合发展潜力的沿海港口分类方法,以期通过对不同类
目的在AOAC2000．11的基础上，应用高效离子色谱一脉冲安培检器联用技术，建立食品中多聚葡萄糖的检测方法。方法匀质样品通过热水浸提、超滤离心、酶解等处理后，进样20μl，以0．15mol／L
本文基于与房地产项目密切相关的土地增值税概念，分析房地产项目的土地增值税税收筹划内容。并结合房地产项目的具体案例对房地产项目的税负优化实施方式进行论述，最后基于案例
3月28日．中国航天科技集团公司组织召开了“2011年航天技术应用产业与航天服务业工作视频会”．全面回顾了航天科技集团航天技术应用产业和航天服务业“十一五”发展概况．明确了
脚本是软件测试自动化技术中的一个重要组成部分.本文对不同类型的脚本技术进行了比较和总结,同时阐述了脚本在软件测试自动化技术中的应用情况.
本文对在线开放课程建设的意义予以阐述,基于目前我国在MOOC背景下的在线开放课程建设现状予以阐述,结合MOOC的特点,提出高校在线开放课程建设策略,以供参考。
研究假定池塘中沉降颗粒有机质主要来自残饵、粪便和悬浮颗粒物三种的混合,利用碳氮稳定性同位素示踪技术对主养草鱼(Ctenopharyngodon idellus)和主养黄颡鱼(Pelteobaggrus
随着互联网信息产业的高速发展,网络虚拟财产作为一种新的财产形式出现并为我们的生活带来了便利,但由其引起的法律纠纷亦冲击着传统的法学理论。近些年来,我国学术界与司法
煤矿生产过程中,在处理瓦斯灾害、粉尘防治、冲击地压、两硬煤层等安全技术问题时,常常需要对未开采煤层采取预裂措施,以达到增加煤层透气性、弱化煤岩强度、卸除地压的目的