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本文介绍了光刻技术的新进展,分析比较了各种光刻技术的自身优势,展望了它们的前景,探讨了它们在动态随机存取存储器(DRAM)进入G位时代的地位和作用。
半导体微细加工中的光刻技术
【摘 要】
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本文介绍了光刻技术的新进展,分析比较了各种光刻技术的自身优势,展望了它们的前景,探讨了它们在动态随机存取存储器(DRAM)进入G位时代的地位和作用。
【机 构】
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电子工业部第45研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1993年3期
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近来中国股市的大跌已令股指逼近一个重要关口，市场已较去年秋天所创峰值下滑了将近一半。如此跌势不仅使将近2．5万亿美元的财富蒸发不见，也在不断考验着政府让市场自己寻求平衡
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苏州河畔SOHO第一人，上海创意产业先行者，他想打造一座创意梦工厂。“一个建筑人，一定要过五十岁才会开始成熟，而其作品则要等到六七十岁才会入境。”
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