【摘 要】
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用纯Fe片做阳极,研究在纯Cu基体上采用高频（20-140kHz）脉冲电流获得的Fe-Co合金薄膜组织和性能与沉积参数的关系,分析了阳极在沉积过程中对镀层组织和性能的作用机理。电子探针
【机 构】
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北京科技大学新金属材料国家重点实验室,中国科学院国际材料物理中心,浙江大学材料学院,天津出入境检验检疫局化矿金属材料检测中心
【基金项目】
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表面物理与化学国家重点实验室开放基金（SPC200704）
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用纯Fe片做阳极,研究在纯Cu基体上采用高频（20-140kHz）脉冲电流获得的Fe-Co合金薄膜组织和性能与沉积参数的关系,分析了阳极在沉积过程中对镀层组织和性能的作用机理。电子探针（EPMA）照片表明,提高占空比,镀层粗糙度增加。扫描电镜（SEM）结果进一步表明,提高脉冲频率可以显著增加沉积速率,使镀层变厚,因此可采用高频脉冲来探索高速电镀技术。采用X射线衍射仪（XRD）分析了镀层结构,发现提高脉冲频率,fcc（111）与bcc（110）相对强度先减小后增大。振动样品磁强计（VSM）测试结果表明,14
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