【摘 要】
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本文在说明平行二电极型气体低温等离子体设备的概况之后,着重讨论工作室及其电极结构、载片盘、高频电源、气路及真空系统的设计要点,简要介绍几种已研制设备的性能,并对今
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本文在说明平行二电极型气体低温等离子体设备的概况之后,着重讨论工作室及其电极结构、载片盘、高频电源、气路及真空系统的设计要点,简要介绍几种已研制设备的性能,并对今后的研制工作特别是发展薄膜技术提出了初步设想。
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