【摘 要】
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本发明提供一种用于气体分析的微型光声光谱仪,它包括一个可以用电学方法调制的红外光源、一个干涉光学滤光片、一个传声器和一个微槽。所有这些元件都集成在硅半导体衬底上
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本发明提供一种用于气体分析的微型光声光谱仪,它包括一个可以用电学方法调制的红外光源、一个干涉光学滤光片、一个传声器和一个微槽。所有这些元件都集成在硅半导体衬底上,其中,红外光源是在第
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