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描述了ＴＯ透明导电薄膜在柔性基底上沉积工艺的优化及薄膜的性能研究。着重论述了Ｋａｐｔｏｎ基底ＴＯ导电薄膜和Ａｌ等金属反射膜的研制，耐空间稳定性能的评估方法和试验结果，以及各种柔性基底透明导电薄膜的应用前景。通过该金属氧化物薄膜表面形貌分析及空间环境稳定性试验，证明所镀制的ＴＯ膜具有很好的空间环境稳定性能。